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半导体蚀刻项目(重新报批)拟批准公示

· 2024-03-13

建设地点:南通高新技术产业开发区金川路268号;

建设单位:南通卓力达金属科技有限公司;

环评机构:苏州常卫环保科技有限公司;

项目概况:南通卓力达金属科技有限公司于现有厂区建设半导体掩膜版生产项目,生产工艺为:匀胶铬版-曝光-显影-清洗-蚀刻-清洗-脱膜-清洗-吹水-检验-包装-成品。项目总投资1000万元,其中环保投资50万元,环保投资占比5%。本项目新增职工30人,年生产300天,单班制,每班8小时,全年工作2400小时。主要环境影响及预防或者减轻不良环境影响的对策和措施如下:

(1)水污染防治。厂区实行清污分流、雨污分流的排水体制。雨水经雨水管网收集后排入金乐二号横河;生活污水经隔油池、化粪池预处理后接管通州区益民水处理有限公司,尾水排入通甲河,最终汇入新江海河。接管标准执行《污水综合排放标准》(GB8978-1996)表4三级标准和《污水排入城镇下水道水质标准》(GB/T31962-2015)表1中B级标准。蚀刻及蚀刻后清洗废水作为危废,委托有资质单位处置;显影及显影后清洗废水、脱模及脱模后清洗废水、地面冲洗水及纯水制备浓水依托现有综合废水处理系统(工艺:pH调节+混凝沉淀+水解酸化池+接触氧化池+二沉池)处理后接管南通溯天环保科技有限公司,尾水排入金乐二号横河,最终汇入新江海河。除单位产品基准排水量执行《电子工业水污染物排放标准》(GB39731-2020)表2标准限值,其余因子均执行南通溯天环保科技有限公司接管标准。

(2)大气污染防治。本项目无废气产生。

(3)噪声污染防治。本项目主要噪声源为中央空调、纯水机等设备,通过选用低噪音设备、合理布局、隔声减振等措施减少噪声污染。运营期间厂界噪声满足《工业企业厂界环境噪声排放标准》(GB12348-2008)3类标准。

(4)固体废物污染防治。一般工业固废:废版由供应商回收;纯水制备产生的废活性炭及废反渗透膜由维护单位回收;普通包装材料收集后外售。危险废物:蚀刻及蚀刻后清洗废液、综合处理系统新增的污泥、沾有危化品的废包装材料收集后委托有资质单位处置。生活垃圾由环卫部门清运。

公示时间:2024年3月13日~2024年3月19日(5个工作日)

公众反馈意见联系方式:

联系电话:0513-86028926

联系地址: 南通高新区行政审批局项目投资科(区政务服务中心三楼高新区服务大厅)

电子邮件:994629318@qq.com

联系人:顾晨

邮编:226300

听证告知:依据《中华人民共和国行政许可法》,自公告起五日内申请人、利害关系人可对上述拟作出建设项目环境影响评价文件批复决定要求听证。

(责任编辑:顾晨)

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